1.在簡述化學(xué)機械拋光技術(shù)的基礎(chǔ)上,提出化學(xué)機械拋光過程中,受載的粗糙峰和被拋光的晶片表面之間存在一納米量級的薄流體膜,形成了納米級薄膜流動系統(tǒng)。
傳承國學(xué)經(jīng)典 ? 弘揚傳統(tǒng)文化
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